一種可行的解決方案就是采用電容式方案，來制造微型麥克風(fēng)。這一方法的優(yōu)點就是：在集成電路制造工藝中使用的所有材料都可用于傳感器的制造。但是采用單芯片工藝制造微麥克風(fēng)有相當(dāng)難度，因為在兩個電容極板之間的空氣介質(zhì)只能有很小的間隔。而且，由于尺寸的限制，在一些應(yīng)用場合偏置電壓很難滿足?；谏鲜鰡栴}，對于電容式麥克風(fēng)的研究一直沒有間斷過

靈敏度

指麥克風(fēng)的開路電壓與作用在其膜片上的聲壓之比。實際上，麥克風(fēng)在聲場必然會引起聲場散射，所以靈敏度有兩種定義。一種是實際作用于膜片上的聲壓，稱為聲壓靈敏度，另一種是指麥克風(fēng)未置入聲場的聲場聲壓，稱為聲場靈敏度，其中聲場靈敏度又分為自由場靈敏度和擴(kuò)散場靈敏度。通常錄音用麥克風(fēng)給出聲壓靈敏度，測量用麥克風(fēng)因應(yīng)用類型給出聲壓或聲場靈敏度 。

靈敏度的單位是伏/帕（伏特/帕斯卡，V/Pa），通常使用靈敏度級來表示，參考靈敏度為1V/Pa

靈敏度：

在1KHz的頻率下，0.1Pa規(guī)定聲壓從話筒正面0°主軸上輸入時，話筒的輸出端開路輸出電壓，單位為10mV/Pa。靈敏度與輸出阻抗有關(guān)。有時以分貝表示，并規(guī)定10V/Pa為0dB，因話筒輸出一般為毫伏級，所以，其靈敏度的分貝值始終為負(fù)值。

有動圈式、電容式、駐極體和近新興的硅微傳聲器，此外還有液體傳聲器和激光傳聲器。

動圈傳聲器音質(zhì)較好，但體積龐大。

駐極體傳聲器體積小巧，成本低廉，在電話、手機(jī)等設(shè)備中廣泛使用。

硅微麥克風(fēng)基于CMOSMEMS技術(shù)，體積更小。其一致性將比駐極體電容器麥克風(fēng)的一致性好4倍以上，所以MEMS麥克風(fēng)特別適合高性價比的麥克風(fēng)陣列應(yīng)用，其中，匹配得更好的麥克風(fēng)將改進(jìn)聲波形成并降低噪聲。