MF4000微型氣體質(zhì)量流量計廠家

一、產(chǎn)品概述

銘鴻儀表本產(chǎn)品采用具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MEMS質(zhì)量流量傳感器技術(shù)，能根據(jù)用戶的需求提供的在線流量計量。傳感器系采用獨特的CMOS兼容MEMS工藝制造，保證其具有的可靠性。傳感器可測量低至0.01m/sec及高達(dá)65m/sec。針對不同的應(yīng)用，傳感器可用于測量氣體的質(zhì)量流量、體積流量及介質(zhì)流速。專門設(shè)計的電路具有放大及微小信號處理功能以保證高精度輸出。

銘鴻自動化不同于其它MEMS傳感技術(shù)，單個傳感芯片上集成多個傳感器。芯片表面采用具有高導(dǎo)熱性能的陶瓷材料鈍化處理，在保證傳感器的靈敏度的同時避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高其可靠性。當(dāng)沒有氣體介質(zhì)流過MEMS傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場（溫度分布）。當(dāng)氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重分布。這種局部溫度場變化取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進(jìn)行測量，通過校準(zhǔn)，專門設(shè)計的信號處理電路和智能控制軟件可測量實際的介質(zhì)質(zhì)量流速。介質(zhì)質(zhì)量流速則可換算成體積流速及累計介質(zhì)體積流量。

二、流量芯片測量原理

MEMS質(zhì)量流量計是基于熱擴散原理的氣體流量測量儀表，它無須溫壓補償，直接測出流體的質(zhì)量流量。它的突出特點是：可以直接進(jìn)行貿(mào)易結(jié)算；沒有活動部件；壓力損失?。涣砍瘫葘?；精度高；可靠性高；安裝簡單；操作方便。

金氏定律即熱擴散原理。金氏定律：流過熱源的流體分子多少與熱量散失的多少成正比。二是恒溫差法。可用表達(dá)式來具體說明：

P/ △T=A+B（Q）m

其中P表示消耗功率；△T表示兩個傳感器之間的溫度差；

Q表示質(zhì)量流量；m表示指數(shù)系數(shù)，

A，B是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。

三、產(chǎn)品應(yīng)用

科教實驗室

醫(yī)療單位

電子單位

各種高純氣體的測量

各種相關(guān)產(chǎn)品配套使用

供氣計量核算

相關(guān)行業(yè)工廠使用

四、技術(shù)參數(shù)

量程比 100:1

精度 1.5級

重復(fù)性 ±1.0 %

響應(yīng)時間 <1秒

工作電源 3.6V電池或12~24VDC

輸出方式 RS485，通信協(xié)議：4-20mADC（可選）

通信協(xié)議 MODBUS(RTU),通信方式：RS485

大流量壓損 100Pa

大工作壓力 1.6MPa

工作溫度 -10~+55℃

儲存溫度 -20~+65℃

工作濕度 10~95%RH(無結(jié)露，無凝露)

顯示內(nèi)容 LCD液晶顯示：瞬時流量、累積流量

過程連接 標(biāo)準(zhǔn)法蘭；或卡套式緊固件

適用介質(zhì) 不含水分的氣體

凡是用于空氣、天然氣和管道有粉塵的一定帶過濾器，過濾目數(shù)為1微米。