干式螺桿真空泵工作原理主要是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的 左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個空間、形成 多個級，氣體在相等的各個槽內(nèi)進行傳輸運動，

無壓縮，只有螺桿末端的螺旋結(jié)構(gòu)才對 氣體有壓縮的作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比，各部間隙 和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響。

在設(shè)計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精 度和工作環(huán)境等。干式螺桿真空泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。

氣鎮(zhèn)閥裝置的安裝: 防止強腐蝕性氣體的凝結(jié) 降低易爆氣體的分壓力 · 齒輪油冷卻水套: 保持較低的油溫。 防止因齒輪油高溫高壓產(chǎn)生漏油現(xiàn)象。 防止因高溫帶來的齒輪油性能降低。

可靠的密封結(jié)構(gòu) : 唇形密封和機械密封加上氣體密封，形成三重密封結(jié)構(gòu)。安裝專為干式真空泵設(shè)計的高性能機械密封。

優(yōu)異的適當(dāng)加壓的氣體密封裝置，進 一步提高了齒輪油和被抽流程氣體之間的密封性。

干式螺桿真空泵產(chǎn)品特點

· 極限真空 : 理想的間隙設(shè)計和連續(xù)的壓縮方式，

單泵就可達到 0.0075torr（0.01 hpa）的極限真空。

· 耐腐蝕 : 使用有耐腐蝕的性涂層材料。

通過氣鎮(zhèn)閥裝置降低腐蝕性氣體的分壓力，

可防止腐蝕性氣體凝結(jié)在泵腔內(nèi)，進一步提高耐腐蝕能力。