隨著電子產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，對(duì)資源的節(jié)約和回收利用的要求也日益提高。ITO靶材中含有昂貴的銦元素，因此開(kāi)發(fā)有效的回收方法變得至關(guān)重要。

化學(xué)回收法： 化學(xué)回收法主要是通過(guò)化學(xué)溶解或還原反應(yīng)將ITO薄膜中的銦元素分離出來(lái)。這一過(guò)程通常包括酸溶解、絡(luò)合劑處理等步驟，終得到含銦的化合物。隨后，通過(guò)進(jìn)一步的化學(xué)反應(yīng)或電化學(xué)方法，可以提純得到高純度的銦。

物理回收法： 物理回收法主要通過(guò)物理手段分離ITO薄膜中的銦和錫。這包括磨碎、篩分、磁選等步驟。研究表明，物理回收法可以有效地提高銦的回收率，并且對(duì)環(huán)境友好。

電化學(xué)回收法： 電化學(xué)回收法利用電化學(xué)反應(yīng)將ITO薄膜中的銦還原出來(lái)。這通常需要在合適的電解液中進(jìn)行電解，通過(guò)施加電流來(lái)促使銦在電極上析出。這一方法對(duì)于回收銦具有潛力。

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鈀碳的提純：

鈀合金可制成膜片(稱鈀膜)。鈀膜的厚度通常為0.1mm左右。主要于氫氣與雜質(zhì)的分離。鈀膜純化氫的原理是，在300—500℃下，把待純化的氫通入鈀膜的一側(cè)時(shí)，氫被吸附在鈀膜壁上，由于鈀的4d電子層缺少兩個(gè)電子，它能與氫生成不穩(wěn)定的化學(xué)鍵(鈀與氫的這種反應(yīng)是可逆的)，在鈀的作用下，氫被電離為質(zhì)子其半徑為1.5×1015m，而鈀的晶格常數(shù)為3.88×10-10m(20℃時(shí))，故可通過(guò)鈀膜，在鈀的作用下質(zhì)子又與電子結(jié)合并重新形成氫分子，從鈀膜的另一側(cè)逸出。

在鈀膜表面，未被離解的氣體是不能透過(guò)的，故可利用鈀膜獲得高純氫。雖然鈀對(duì)氫有獨(dú)特的透過(guò)性能，但純鈀的機(jī)械性能差，高溫時(shí)易氧化，再結(jié)晶溫度低，易使鈀管變形和脆化，故不能用純鈀作透過(guò)膜。在鈀中添加適量的IB族和Ⅷ族元素，制成鈀合金，可改善鈀的機(jī)械性能