產(chǎn)品用途：探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測(cè)試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

該探針臺(tái)的承載臺(tái)為60＊60不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面可升溫到350℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為x/y/z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中x方向調(diào)節(jié)范圍：0--30mm; y方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；用戶(hù)可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需要檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架x/y/z方向行程，通過(guò)顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。

真空腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開(kāi)啟

鉸鏈側(cè)開(kāi)

加熱臺(tái)材質(zhì)

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺(tái)尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺(tái)間距

75mm

加熱臺(tái)溫度

﹣196~350℃

加熱臺(tái)溫控誤差

±1℃

真空度

機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號(hào)接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鎢針

探針尖

10μm

探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

30mm ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動(dòng)行程

13mm ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動(dòng)行程

13mm ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類(lèi)別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5倍

工作間距

90mm

相機(jī)

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

有

顯示屏

8寸

放大倍數(shù)

19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm