質(zhì)量流量計(jì)智能氣體配比器，可選配七星各種系列流量計(jì)，觸摸屏控制調(diào)節(jié)不同時間不同流量氣體，操控簡單，

CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計(jì)專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補(bǔ)小償算法，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn)，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。

? 準(zhǔn)確度采用設(shè)定點(diǎn)精度，產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.，響應(yīng)時間快≤ 0.5sec。

? CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補(bǔ)償功能，對前段氣體壓力的擾動進(jìn)行有效的補(bǔ)償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

質(zhì)量流量計(jì)智能氣體配比器

產(chǎn)品型號

KT-PCS4Z

KT-C4ZS

氣體通道

4進(jìn)1出

4進(jìn)1出

可根據(jù)需求定制

產(chǎn)品類型

高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制

可選量程

20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選)

產(chǎn)品精度

高精度型±1％F.S

普通型±1％F.S

重復(fù)精度

高精度型±0.2% F.S

普通型±0.2% F.S

線性

高精度型±0.5% F.S.

普通型±1% F.S.

響應(yīng)時間

高精度型≤2sec

普通型≤4sec

工作溫度范圍

(5~45)°C

供電電源

~85-265VAC 50/60Hz

功耗

40W

進(jìn)氣口壓

≤0.6MPa

連接管道

316不銹鋼管道

截止閥類型

電磁閥

單向閥開啟壓力

0.02Mpa

壓力顯示量程

0-0.6Mpa

控制方式

7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié)

時間設(shè)定

0-32000分鐘

清洗功能

一鍵清洗

程序控制

5段可編程序(時間-流量隨意設(shè)定值)

壓力顯示

有（出氣壓力檢測且有壓力上限設(shè)置過壓切斷總輸出氣路）

氣體混合罐

有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻）

氣體加熱

無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調(diào)）

流量累計(jì)

有（累計(jì)當(dāng)前運(yùn)行總流量）

可選進(jìn)出氣口接頭形式

3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭

抗電磁干擾

有

外形尺寸

550x380x400mm

重量

18KG～20KG