JIMA RT RC-05B分辨率測(cè)試卡,JIMA分辨率測(cè)試卡詳細(xì)介紹：

JIMA RT RC-05B是一款采用半導(dǎo)體光刻技術(shù)制作的微型分辨率測(cè)試卡。它用于校準(zhǔn)和監(jiān)控系統(tǒng)分辨率，確保微焦點(diǎn)或納米焦點(diǎn)X射線檢測(cè)系統(tǒng)獲得高質(zhì)量的結(jié)果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米（3 μ m至50 μ m）的分辨率。這對(duì)應(yīng)于6微米和100微米（6 μ m和100 μ m）之間的焦斑尺寸。

16組I&T布局，2x2 mm，8x8 mm硅基，如上圖下圖為尺寸為5 μm I&T的圖像

Au Slit的數(shù)量為3行和2個(gè)空格寬度3至10 μm：T形布局寬度15至50 μm：I形布局L/S寬度L/S寬度：3、4、5、6、7、8、9、10、15、20、25、30、35、40、45、50 μm

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